由于三坐标测量机是机电一体化和软件集成的产物，故障可能涉及各个方面和各个领域。温度是影响三坐标测量精度的最大因素。在测量机的机房里，温度从下到上逐渐升高，温度一直在变化。因此，各轴光栅的温差和各部件的温度之间的差异将影响测量机的测量精度。温度控制方法不合理(即测量机不使用时立即开启空调，关闭空调)，会导致室内温度测量的不稳定性和平衡性。测量机的温度一直在变化，机器处于不稳定状态，测量精度将很差。
温度对三坐标测量精度的影响的解决方案和要求如下：
一、在测量机软件中，可根据现场验证的环境条件，采用线性校正和温度校正来校正温度效应。
二、电气设备、计算机和其他热源应与测量机保持一定距离。
三、空调应尽量选用具有较强控温能力的变频空调，合理规划空调的安装位置，不能将空调的风向直接吹到测量机上，由于测量室上下之间的温差，应将风向向上移动，使空气形成较大的循环，保持室内温度的平衡。
四、每天早上上班时打开空调，晚上关掉。
五、机房应采取保温措施。应关闭机房的门窗，以减少温度损失，避免阳光照射。
六、加强调查室的管理，不留下多余的人员。